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中國在自主制備第三代半導(dǎo)體材料方面仍面臨困難

文章出處:行業(yè)新聞 責(zé)任編輯:廣東惟思照明科技有限公司 發(fā)表時間:2022-07-04
  

由于中國在第三代半導(dǎo)體材料相關(guān)研究領(lǐng)域起步較晚,在材料獨立制備方面仍面臨困難。同時,我國對基本材料問題關(guān)注不夠;一旦投資和支持不足,相關(guān)人才難以吸引,人才隊伍建設(shè)問題將逐漸成為發(fā)展瓶頸。

夜幕降臨的北京,如果你有機會乘公共汽車經(jīng)過北四環(huán),你會被閃亮多彩的鳥巢和水立方所吸引,甚至停下來欣賞。

這些彩色建筑的背后,主要是由于半導(dǎo)體照明技術(shù)的充分應(yīng)用。

可惜的是,水立方44萬套led照明設(shè)備,鳥巢約25個.8萬套LED所有照明設(shè)備都是從美國購買的(CREE)公司,很難找到國產(chǎn)的痕跡。

事實上,隨著第三代半導(dǎo)體材料成為全球半導(dǎo)體研究的前沿和熱點,中國正在趕上半導(dǎo)體材料發(fā)光設(shè)備、微波功率設(shè)備等關(guān)鍵研究領(lǐng)域,甚至開始試生產(chǎn)和試用。然而,與外國同行相比,差距仍然存在。

最大的瓶頸是什么?它是原材料。中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員、中國電子學(xué)會半導(dǎo)體與集成技術(shù)分會秘書長王曉亮表示,原材料質(zhì)量和制備問題亟待解決。

寬禁帶前景廣闊

材料、信息和能源構(gòu)建的當(dāng)代文明社會是必不可少的。中國科學(xué)院院士、半導(dǎo)體物理專家黃坤和夏建白曾指出,半導(dǎo)體不僅具有極其豐富的物理內(nèi)涵,而且其性能可以被不斷發(fā)展的精密過程控制,可以說是最重要的材料。

與第二代半導(dǎo)體材料(以砷化鎵和磷化鎵為代表)相比,氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)寬禁帶半導(dǎo)體材料具有功率密度大、體積小、質(zhì)量輕等特點,應(yīng)用前景廣闊,被認(rèn)為是第三代半導(dǎo)體材料。

特別是在半導(dǎo)體照明和微波功率設(shè)備方面,許多國家加強了新一代半導(dǎo)體材料的部署,不愿落后。王曉亮說,半導(dǎo)體白光照明聲稱是愛迪生發(fā)明燈泡后的第二次照明革命。

目前,半導(dǎo)體發(fā)光器件的應(yīng)用范圍很廣,幾乎可見的各種信號燈、車內(nèi)照明、信息屏幕、彩色顯示設(shè)備,甚至實現(xiàn)白光照明。

半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟秘書長吳玲認(rèn)為,未來幾年,中國將有機會成為世界半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)強國。

王曉亮告訴記者,氮化鎵的功率密度是砷化鎵的10~30倍;此外,其極端工作溫度相對較高,削弱了散熱問題。由該材料制成的微波功率設(shè)備將更好地應(yīng)用于通信、雷達(dá)、移動基站、信息處理、自動控制等關(guān)鍵領(lǐng)域。

在微波功率器件上的應(yīng)用,是各國爭奪的戰(zhàn)略高地。王曉亮說,這些無論是在軍用領(lǐng)域還是在民用市場,都非常重要。

由寬禁帶半導(dǎo)體材料制備的新一代電力電子設(shè)備損耗較低,效率較高,預(yù)計將在智能電網(wǎng)項目中展示其技能。王曉亮告訴記者,新一代電力電子設(shè)備(如氮化鎵和碳化硅材料的功率開關(guān))將在電力系統(tǒng)的發(fā)電、輸電、變電、配電、用電和調(diào)度中發(fā)揮節(jié)能效果,減少電力損失。

跨越發(fā)展的機遇

如果能抓住以氮化物為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料的發(fā)展機遇,就會給我們實現(xiàn)跨越式發(fā)展的機遇。王曉亮說。

毫無疑問,作為世界上最大的電子產(chǎn)品設(shè)備生產(chǎn)和消費國和最大的半導(dǎo)體材料消費國,中國在半導(dǎo)體材料方面具有重要的戰(zhàn)略意義。

在崛起和發(fā)展的過程中,一些西方國家從未停止過對中國的騷擾,并試圖遏制我們的發(fā)展。軍事、經(jīng)濟、貨幣等方面的抑制,歸結(jié)為科技力量的競爭。王曉亮說,只有依靠科技創(chuàng)新,才能有獨立的保障,不會受到別有用心的力量的約束。

據(jù)王曉亮介紹,美國早在1993年就開發(fā)了第一種氮化鎵材料和設(shè)備,中國最早的研究團隊中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所也于1995年開始了這項研究,并于2000年進行了研究HEMT結(jié)構(gòu)材料(高電子遷移率晶體管)。

此后,半導(dǎo)體取得了巨大的成就,先后合作開發(fā)了中國第一支GaN基HEMT設(shè)備,第一個GaN基x波段微波功率器件,第一塊GaN基微波單片集成電路等。

經(jīng)過多年的創(chuàng)新研究,我國在中國科學(xué)院半導(dǎo)體研制的一些研究中也逐漸躋身前列。AlGaN/GaN室溫遷移率超過2100cm2/vs,世界領(lǐng)先。

國外比我們先一步,我們承認(rèn)差距,但我們應(yīng)該學(xué)習(xí)他們的先進經(jīng)驗,節(jié)省我們的資源和時間成本,跨越發(fā)展,最終通過自主創(chuàng)新實現(xiàn)超越。王曉亮說。

自主制備面臨困難

王曉亮表示,中國在自主制備第三代半導(dǎo)體材料方面仍面臨困難。

湖南大學(xué)應(yīng)用物理系副教授曾健平撰文指出,目前我國對SiC晶元的制備仍然是空缺,實驗材料大多來自美國。新材料的制備需要新的生產(chǎn)線和新的工藝。目前,中國的大部分設(shè)備都是從國外進口的。

MOCVD系統(tǒng)是LED隨著化合物半導(dǎo)體器件市場的不斷擴大,生產(chǎn)外延片和微波功率異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料的必要設(shè)備,MOCVD對系統(tǒng)的需求不斷增我國幾乎全部依賴進口。

據(jù)了解,世界上主要的東西MOCVD德國是設(shè)備供應(yīng)商AIXTRON公司和美國VEECO公司對單臺MOCVD該設(shè)備報價2000萬元,而我國2012年即購數(shù)十臺,費用驚人。

即便如此,類似MOCVD系統(tǒng)等關(guān)鍵設(shè)備涉及國防技術(shù),即使依靠進口也很難獲得最佳性能。你能在國外隨便賣給你最好的設(shè)備嗎?王曉亮問道。

據(jù)悉,自20世紀(jì)80年代以來,中國MOCVD設(shè)備本土化之路并不順利。到目前為止,中國MOCVD設(shè)備仍處于工程樣機階段,目前僅用于科研,尚未提供成熟的工業(yè)生產(chǎn)MOCVD設(shè)備制造商。

材料本身的顯示度很小,人們對材料的關(guān)注很容易減弱。王曉亮認(rèn)為,材料制備欠款的原因之一是材料沒有得到應(yīng)有的重視。

材料位于產(chǎn)業(yè)鏈中的上游,如果對材料重視不夠,中游的器件和電路、下游的系統(tǒng)可想而知。王曉亮說,產(chǎn)業(yè)鏈下游的產(chǎn)出要以上游材料為基礎(chǔ),而事實上我國對基礎(chǔ)的材料問題的關(guān)注度不夠;一旦投入與支持的力度不夠,相關(guān)人才便很難被吸引,人才隊伍建設(shè)的問題也將逐漸成為發(fā)展瓶頸。

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